湖南株洲實驗室凈化工程
潔凈室zui主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非99%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。
當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
潔凈室分類
亂流式空氣由空調箱經(jīng)風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。
層流式層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率99%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。
復合式復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
工業(yè)潔凈室以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、電腦硬盤等多行業(yè)。湖南株洲實驗室凈化工程
生物潔凈室主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為:(1)一般生物潔凈室;(2)生物學安全潔凈室
潔凈室之構成
天花板系統(tǒng)包括吊桿、綱梁、天花板格子梁。
空調系統(tǒng)包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。
隔墻板包括窗戶、門。
地板包括高架地板或防靜電地板。
照明器具包括日光燈、黃色燈管等。
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