真空實(shí)驗(yàn)箱體
產(chǎn)品編號(hào):20240328-07
產(chǎn)品商家:固安縣雙玉儀器設(shè)備有限公司
產(chǎn)品名稱:真空實(shí)驗(yàn)箱體非標(biāo)訂制一件起訂,歡迎新老客戶咨詢定制
產(chǎn)品介紹:實(shí)驗(yàn)箱體的參考配置,僅供參考:溫度均勻性:≤±1.5%℃;
升溫速度:0-8℃/min;
氧濃度:≤20ppm
工作尺寸:2-12寸晶圓及方片兼容,可尺寸定制
電源:AC380V/50HZ,
操作方式:人機(jī)界面+PLC,自動(dòng)控制,程式運(yùn)行
進(jìn)氣口:φ10mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制/可調(diào)
升溫方式:階梯升溫
降溫功能:水冷+風(fēng)冷
產(chǎn)品編號(hào):20240328-07真空實(shí)驗(yàn)箱定做
產(chǎn)品商家:固安縣雙玉儀器設(shè)備有限公司
產(chǎn)品名稱:真空實(shí)驗(yàn)箱體非標(biāo)訂制一件起訂,歡迎新老客戶咨詢定制
產(chǎn)品介紹:實(shí)驗(yàn)箱體的參考配置,僅供參考:溫度均勻性:≤±1.5%℃;
升溫速度:0-8℃/min;
氧濃度:≤20ppm
工作尺寸:2-12寸晶圓及方片兼容,可尺寸定制
電源:AC380V/50HZ,
操作方式:人機(jī)界面+PLC,自動(dòng)控制,程式運(yùn)行
進(jìn)氣口:φ10mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制/可調(diào)
升溫方式:階梯升溫
降溫功能:水冷+風(fēng)冷
產(chǎn)品編號(hào):20240328-07真空實(shí)驗(yàn)箱定做