主要特點(diǎn)
TriglavTM-新設(shè)計(jì)的超高分辨(UHR)電子鏡筒配置了TriglavTM物鏡和的探測(cè)系統(tǒng)
- 以的方式結(jié)合了三透鏡物鏡和crossover-free模式
- 的且可隨意變化的探測(cè)系統(tǒng)可用于同步獲取不同的信號(hào)
- 超高的納米分辨率:15keV下0.7nm,1keV下1nm
- 極限超高分辨率:1keV下1nm
- 可變角度的BSE探測(cè)器,化了低能量下能量反差
- 實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-flight Beam TracingTM)實(shí)現(xiàn)了電子束的化
- 傳統(tǒng)的TESCAN大視野光路(Wide Field OpticalTM)設(shè)計(jì)提供了不同的工作和顯示模式
- 有效減少熱能損耗,的電子鏡筒的穩(wěn)定性
- 新款的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍現(xiàn)在能實(shí)現(xiàn)電子束電流達(dá)到400nA,且電子束能量可快速的改變
- 為失效分析檢測(cè)過(guò)程中的節(jié)點(diǎn)提供了的解決方案
- 適合精巧的生物樣品成像
- 可觀察磁性樣品
- 優(yōu)化的鏡筒幾何學(xué)配置使得8’’晶元觀察成為可能(SEM觀察和FIB納米加工)
- 的實(shí)時(shí)三維立體成像,使用了三維電子束技術(shù)
- 友好的,成熟的SW模塊和自動(dòng)化程序