分析潛力
- XM樣品室配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
- 多于12個(gè)接口,優(yōu)化的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)
- YAG閃爍器式探頭
- 可選各種探頭和配件
- 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作,幾分鐘即可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)
- 在可變真空模式下可觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品(XMU型號(hào))
- 可選樣品室減振方式
- 3維Metrology軟件提供了三維重構(gòu)與3維測(cè)量功能
VEGA3配置
XM型號(hào)適合觀測(cè)大樣品。
VEGA3 XMH
超大樣品室,高真空模式,適用于觀測(cè)大型導(dǎo)電材料。
VEGA3 XMU
可變真空式掃描電鏡,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品,不需要噴金。