分析潛力:
- LM大樣品室、5軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺
- 樣品室有11個接口,適用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探頭
- YAG 閃爍體探頭
- 選配包括了各種探頭于可選的配件
- 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時工作,幾分鐘可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)
- 在可變真空模式下可觀測不導(dǎo)電的樣品(LMU型號)
- 可選的樣品室減振方式
- 3維Metrology軟件提供了三圍重構(gòu)與3維測量功能
VEGA3配置
VEGA3 LMH
高真空式SEM,配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺,適用于觀測小型導(dǎo)電樣品。
VEGA3 LMU
可變真空式SEM,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測非導(dǎo)電樣品,不需要噴金。