分析潛力
- 高亮度肖特基發(fā)射可獲取高分辨率、高電流和低噪聲的圖像
- 可選配超高分辨率的In-Beam二次電子探頭
- 的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設(shè)計提供了多種工作模式和顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計
- 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進行束斑優(yōu)化
- 成像速度快
- 低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可獲得高分辨率（選配）
- In-Beam背散射電子探頭提供小工作距離下的BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品的分析
- 全計算機化優(yōu)中心電動載臺設(shè)計優(yōu)化了樣品操控
- 的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）
- 由于使用了強力的渦淪分子泵和無油干式真空泵，因而可以快速簡單的得到干凈的真空樣品室。電子槍的真空由離子泵維持。
- 全自動設(shè)置的顯微鏡包括了電子光路設(shè)置和合軸功能
- 網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置遠程控制/診斷軟件為標配
- 3維電子束技術(shù)提供了實時立體圖像
- 在低真空模式下樣品室真空可達到500Pa，用于觀測不導(dǎo)電樣品
- 的離子差異泵（2個離子泵）使得離子散射效應(yīng)非常低
- 聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達驅(qū)動高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器
- 聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒
- 在高束流下，選配的Cobra聚焦離子束提供了超高的分辨率和的性能
- FIB切割、信號采集、3維重構(gòu)（斷層攝影術(shù)），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化
- 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖片的獲取、存檔、處理和分析功能
LYRA3配置
LYRA3 GMH
裝有馬達驅(qū)動全計算機化優(yōu)中心樣品臺的超大樣品室電鏡，適用于在高真空模式下對導(dǎo)電樣品的分析。
LYRA3 GMU
可變真空式SEM，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。
