日本特許機(jī)器株式會(huì)社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商,一臺(tái)主動(dòng)式除振裝置實(shí)用機(jī)由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會(huì)上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究,精密穩(wěn)定,堅(jiān)固耐用的防振產(chǎn)品、振動(dòng)分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備,以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求。
αL4X-911R1主動(dòng)式隔振平臺(tái)是結(jié)合了空壓(低頻)和線性馬達(dá)(高頻)的兩種優(yōu)點(diǎn),專為掃描電子顯微鏡而設(shè)計(jì)的高精密隔振平臺(tái)。 本主動(dòng)隔振系統(tǒng)可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng),在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項(xiàng)性能。 αL4X-911R1的基本原理和功能 利用加速度傳感器檢測(cè)地板的振動(dòng),通過(guò)6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動(dòng)控制,由氣動(dòng)和線性馬達(dá)執(zhí)行器來(lái)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)衰減,消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng),滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動(dòng)值。 技術(shù)參數(shù):
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