KT-S2DQX型等離子清洗機表面處理設備屬于13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設備,主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
該等離子清洗機表面處理設備內置不高純石英倉體,容積為2升,結構為上的通用結構。采用了新型的外觀結構設計和固態(tài)電源技術,使其有效容積增大,不同真空氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內,即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設置上均可一個面板上操作,特別適用科學實驗樣品清洗 和教學
供電電源 | AC220V(AC110V可選) |
工作電流 | 整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | <0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆,手動匹配 |
耦合方式 | 感應耦合式(線圈耦合) |
真空度 | ≤100Pa |
腔體材質 | 高純石英 |
腔體容積 | 2L(內徑110MMX深度220MM) |
觀察窗內徑 | Φ70 |
氣體流量 | 10—600ml/min(其他量程可選) |
過程控制 | 過程手動控制 |
清洗時間 | 手動開關 |
開蓋方式 | 鉸鏈側開式法蘭 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強制風冷 |
標配 | KF16波紋管1米,kf16卡箍2個,電源線一根,說明書一本。 |
等離子清洗機具備有超清洗功能,并且在特定條件下還可根據(jù)需要改變用于某些材料表面的性能,如把等離子清洗機的等離子體作用于材料表面,使表面分子的化學鍵發(fā)生重組,形成新的表面特性。RFC-2C在超清洗過程中等離子清洗機的輝光放電不但能夠加強多數(shù)材料的粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。RFC-2C等離子清洗機廣泛應用于光學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫(yī)學、微觀流體學等領域。