單軸晶圓劃片機7200系列特點： |
晶圓劃片機-7200系列機臺搭載CDMV系統(tǒng)，提供更快速以及更精準的切割制程，有效提高產(chǎn)能 |
經(jīng)濟實惠-切割機體積小、自動化、產(chǎn)出量大 |
使用者友善-配有17寸觸控大屏幕，且操作界面簡單容易上手 |
縮短產(chǎn)線配置-內(nèi)置自動清洗系統(tǒng)，不須另外購買清洗機臺 內(nèi)置磨刀卡夾，可自動磨利切割刀，不須另外配置磨刀站 |
單軸晶圓劃片機7200系列規(guī)格參數(shù) |
行程?200晶圓劃片機臺型號 | 7222 | 7223 | 7224 | |
可容納工作物尺寸 | ?200 | ?200 Rectangular:212 x142 | ?200 | |
?200主軸 | 搭配主軸尺寸 | 2inch | 4inch | |
額定輸出功率 | 1.2(標準型)kW | 1.2(高扭力型)kW | 2.5(高扭力型)kW | |
回轉(zhuǎn)數(shù) | 60000rpm | 60000rpm | 30000rpm | |
行程 ?300 晶圓劃片機臺型號 | 7200-300 2” | 7200-300 4” | ||
可容納工作物尺寸 | ?300 Rectangular:253 x 243 | |||
?200主軸 | 搭配主軸尺寸 | 2inch | 4inch | |
額定輸出功率 | 1.2(標準型)kW | 2.5(高扭力型)kW | ||
回轉(zhuǎn)數(shù) | 60000rpm | 30000rpm | ||
X軸 | 速率 | 600mm/Sec | ||
Y軸 | 解析度 | 0.1µm | ||
重復經(jīng)度 | 1.0µm | |||
Z軸 | 解析度 | 0.2µm | ||
重復經(jīng)度 | 1.0µm | |||
θ軸 | 重復經(jīng)度 | 2.0Arc-sec | ||
行程 | 350 degree | |||
環(huán)境配置 | 電壓 | 220-240 V AC(單相50/60Hz) | ||
空氣消耗量 | 700L/min | |||
氣壓 | 5.5Bar | |||
切割冷卻 水消耗量 | 7L/min | |||
主軸循環(huán)冷卻 水消耗量 | 11L/min | |||
其他規(guī)格 | ?200尺寸 | 965Wx 1460D x 1700H mm | ||
重量 | 1200kg | |||
? 300尺寸 | 1100Wx 1785D x 1700H mm | |||
重量 | 1350kg | |||
主軸循環(huán)冷卻 水消耗量 | 1.1L/min | |||
