AL76 Compact等離子清洗機特點: |
改善Die Bonding |
改善Wire Bonding |
改善錫球焊接 |
改善倒裝底部填充(FC Underfill) |
改善塑封(Molding)/封膠 |
AL76 Compact等離子清洗機選項: |
進口干泵系統(tǒng)(含相關(guān)附件) |
信號燈塔-紅黃綠三色 |
額外的處理氣體線路-最多至4路氣體 |
旋轉(zhuǎn)臺-φ350mm,旋轉(zhuǎn)速度可調(diào) |
ECR機構(gòu) |
包裝,運輸 |
AL76 Compact等離子清洗機規(guī)格: |
等離子源 | 2.45Ghz微波等離子源,1200W |
腔體 | 鋁.長400mm,寬400mm,深490mm,76L |
外觀尺寸 | 長1050mm,寬800mm,高2020mm(含信號燈塔) |
處理氣體 | 3路氣體+數(shù)字MKS流量控制器 |
真空腔門 | 鉸鏈門/抽屜式雙功能+觀察窗 |
觀察窗 | UV與微波屏蔽保護 |
GUI 10.4"觸摸屏 | Window CE操作系統(tǒng) |