集成電路用高純水設(shè)備 水質(zhì)穩(wěn)定
超純水最初是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水,如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,超純水無硬度,口感較甜,又常稱為軟水,可直接飲用,也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。
超純水系統(tǒng)設(shè)備的脫鹽核心部件為進(jìn)口反滲透膜組件,超純水系統(tǒng)設(shè)備通常由預(yù)處理部分,反滲透主機(jī)部分,后處理部分共同組成。
1、預(yù)處理由石英砂過濾器、活性碳過濾器、全自動軟水器、精密過濾器組成(我司采用全自動控制閥頭),也可選用超濾系統(tǒng)作為預(yù)處理,但通常工程造價(jià)要高。預(yù)處理主要目的是去除原水中含有的泥沙,鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物、色度、異味、生化有機(jī)物。當(dāng)原水中硬度較高時(shí),可選擇全自動軟水器,這樣有效的保護(hù)了反滲透膜,從而延長了反滲透膜的使用壽命。
2、反滲透主機(jī)主要由高壓泵、膜殼、進(jìn)口反滲透膜組件,在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數(shù)量及泵的型號選型得當(dāng),反滲透主機(jī)脫鹽率及產(chǎn)水量都能達(dá)到額定指標(biāo),出水電導(dǎo)率可保證在≤10us. CM以下,(原水電導(dǎo)率小于500us/cm,工作溫度:1~40℃)
3、后處理部分是對反滲透制取的純水作進(jìn)一步的深化處理以制取超純水,通常是離子交換混床設(shè)備或EDI設(shè)備,根據(jù)客戶要求,出水阻率可達(dá)到18.2MΩ.CM,如果是應(yīng)用在直飲水工藝上,則加上殺菌裝置即可,通常為紫外線殺菌器或者臭氧發(fā)生器,從而使生產(chǎn)出來的水達(dá)到直飲標(biāo)準(zhǔn)。
集成電路用高純水設(shè)備 水質(zhì)穩(wěn)定
工作原理:
1. 水進(jìn)入純化系統(tǒng),主要部分流入樹脂 / 膜內(nèi)部,而另一部分沿模板外側(cè)流動,以洗去透出膜外的離子。
2. 樹脂截留水中的溶存離子。
3. 被截留的離子在電極作用下,陰離子向正極方向運(yùn)動,陽離子向負(fù)極方向運(yùn)動。
4. 陽離子透過陽離子膜,排出樹脂 / 膜之外。
5. 陰離子透過陰離子膜,排出樹脂 / 膜之外。
6. 濃縮了的離子從廢水流路中排出。
7. 去離子水從樹脂 / 膜內(nèi)流出。
設(shè)備特點(diǎn):
1: 整體化程度高 , 易于擴(kuò)展 , 增加膜數(shù)量即可增加處理量。
2: 自動化程度高 , 遇故障立即自停 , 具有自動保護(hù)功能。
3: 膜組件為復(fù)合膜卷制而成 , 表現(xiàn)出更高的溶質(zhì)分離率和透過速率。
4: 能耗低 , 水利用率高 , 運(yùn)行成本低。
5: 結(jié)構(gòu)合理 , 占地面積少。
6: 的膜保護(hù)系統(tǒng) , 在設(shè)備關(guān)機(jī) , 淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈 , 延長膜壽命。
7 系統(tǒng)無易損部件 , 無須大量維修 , 運(yùn)行長期有效。
8: 設(shè)備設(shè)計(jì)有膜清洗系統(tǒng)用阻垢系統(tǒng)。
工藝流程:原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點(diǎn)
主要用途:
1、超純材料和超純試劑的生產(chǎn)和清洗。
2、電子產(chǎn)品的生產(chǎn)和清洗。
3、電池產(chǎn)品的生產(chǎn)。
4、半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)和清洗。
5、電路板的生產(chǎn)和清洗。
6、其他高科技精細(xì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。