描述
薄膜測試系統(tǒng)提供完整的一套膜厚測試系統(tǒng),可以對單層或多層的5nm-200um的快速測試。這套系統(tǒng)包含便攜式光纖光譜儀,反射式探針和光源。通過樣品正面反射的正弦條紋圖得到反射和膜厚的光學(xué)特性,多種可選擇模式滿足不同的膜厚和光學(xué)需求。
ThinFilmCompanion系統(tǒng)特性
實(shí)時光譜捕捉和儀器控制(反射和透射測試)
內(nèi)置大量材料數(shù)據(jù)
支持多層,單層,粗,厚膜和薄膜結(jié)構(gòu)測試
新材料數(shù)據(jù)可以輕松添加
實(shí)際測試和文件導(dǎo)入
支持復(fù)合物材料測試
TF軟件
采用用戶友好界面軟件可以快速測試膜厚和光學(xué)常數(shù)(n和k值),是復(fù)雜的測試變得簡單化。這個軟件內(nèi)部包含大量 的材料數(shù)據(jù)資料,使得的測試范圍更廣,多層膜,單層膜,粗糙的,薄膜,厚膜等都可以測試,并且新材料的數(shù)據(jù)也可以隨時導(dǎo)入到軟件中。
主要測試過程包含兩部分:數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)分析。TF系統(tǒng)定義了所有測試過程,并且向用戶開放,同時用戶也可以此 基礎(chǔ)來存儲數(shù)據(jù)和后續(xù)開發(fā)。