四探針電阻率/方阻測試儀四探針電阻率/方阻測試儀
標(biāo)準(zhǔn)要求:
該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測試。
技術(shù)參數(shù)及功能介紹
規(guī)格型號(hào) | BCD-310 |
1.方塊電阻范圍 | 10-5~2×105Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-6~2×106Ω-cm |
3.測試電流范圍 | 0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA |
4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) |
5.電阻精度 | ≤0.3% |
6.顯示讀數(shù) | 大屏液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
7.測試方式 | 雙電測量 |
8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W |
9.整機(jī)不確定性誤差 | ≤3%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果) |
10.選購功能 | 選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺(tái) |
1.雙電測四探針法測試薄層樣品方阻計(jì)算和測試原理如下:
直線四探針測試布局如圖8,相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理:
當(dāng)電流通過1、4探針,2、3探針測試電壓時(shí)計(jì)算如下:
四探針測試結(jié)構(gòu)
當(dāng)電流通過1、2探針,4、3探針測試電壓時(shí)計(jì)算如下:從以上計(jì)算公式可以看出:方阻RS只取決于R1和R2,與探針間距無關(guān).針距相等與否對(duì)RS的結(jié)果無任何影響,本公司所生產(chǎn)之探針頭全部采用等距,偏差微小,對(duì)測試結(jié)果更加精準(zhǔn)。