Science Probe手動/氣動插板閥
主要針對半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用,可對應(yīng)設(shè)備
**主要設(shè)備**
? Evaporation
? Sputtering
? Diamond growth by MW-PACVD
? PECVD
? PVD(Cluster,Roll to Roll)
? Coating
? Etch
? Diffusion
?CVD
合作:中國臺灣Micron,UMC,AKT等;新加坡Micron,Global Foundries,UMC以及馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體等;日本Micron和其它的裝備,在國內(nèi),包括三星半導(dǎo)體在內(nèi)的設(shè)備公司持續(xù)交貨階段。
可替代:瑞士VAT、美國HVA, 韓國Presys