PJ80半導(dǎo)體檢查顯微鏡
一、儀器簡介:
1、物鏡轉(zhuǎn)盤等采用電動切換模式,操作更 加方便快捷。配置 8寸超大移 動平臺,為半導(dǎo)體、FPD 檢測提供的 應(yīng)用環(huán)境。可支持 200mm 晶圓及14 英寸液晶面板的檢查。
2、顯微鏡采用長工作距離復(fù)消色差A(yù)PO物鏡, 2X/NA0.06/WD34, 5X/NA0.15/WD45, 10X/NA0.3/WD34, 20X/NA0.3/WD31(可選50X物鏡NA0.45,WD20.1和100X物鏡NA0.80,WD6)。超長的工作距離帶來更自由的操作空間。特別適合半導(dǎo)體探針,點墨,擦拭,清潔等工站使用。
3、采用全新LED照明系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng),照明均勻,成像清晰。突破性的大金相機架設(shè)計,可承載8英寸超大工作平臺, 平臺面積525mmX330mm, 采用了離合器驅(qū)動的手動XY載物臺,移動行程210*210mm。