Sabio 2010D型氣體稀釋校準(zhǔn)儀
標(biāo)準(zhǔn)配置
氣動部分
稀釋氣質(zhì)量流量控制器,0~10 SLM
源氣質(zhì)量流量控制器,0~100 SCCM
2個校準(zhǔn)氣輸入接口和一個清洗接口
4個輸出接口和一個出風(fēng)口
1個稀釋氣輸入接口
電子器件
高亮度彩色顯示屏(顯示為黑白EL屏)
42鍵觸摸鍵盤
8位數(shù)字I/O接口
2個串行數(shù)據(jù)通訊接口
外部PC鍵盤輸入接口
并行打印機(jī)接口
氣源控制接口
電動部分
98~264 VAC,150~300 VA,50/60 Hz運(yùn)行
Sabio 2010D型氣體稀釋校準(zhǔn)儀
可選配置
稀釋氣質(zhì)量流量控制器,范圍0~20 SLM
源氣質(zhì)量流量控制器,范圍0~1 SLM
第二個源氣質(zhì)量流量控制器,范圍0~1 SLM
額外的校準(zhǔn)氣接入口
滲透口
內(nèi)置臭氧發(fā)生器
臭氧發(fā)生器UV隨動控制回路
側(cè)裝便攜帶
耐抗擊的運(yùn)輸箱
以太網(wǎng)TCP/IP容量
Sabio 2010D型氣體稀釋校準(zhǔn)儀
產(chǎn)品規(guī)格
稀釋系統(tǒng)
稀釋氣進(jìn)口:1個標(biāo)準(zhǔn)接口
源氣進(jìn)口:2個標(biāo)準(zhǔn)接口,1個清洗接口
額外進(jìn)口:2個額外接口
稀釋氣質(zhì)量流量控制器:0~10 SLPM;可選范圍0~20 SLPM
源氣質(zhì)量流量控制器:0~100 SCCM;可選范圍0~1 SLPM
第二個源氣質(zhì)量流量控制器:0~1 SLPM
流量準(zhǔn)確度:≤±1%滿量程
流量重現(xiàn)性:≤±0.15%滿量程
線性:≤±0.5%滿量程
輸入壓力:20~35 psig
輸出接口:4個標(biāo)準(zhǔn)輸出口
可選的內(nèi)置臭氧發(fā)生器
輸出:0.05~1.5 ppm@5SLPM
準(zhǔn)確度:±2%或者±3 ppb@5SLPM
流量:100 SCCM,±1 SCCM
UV燈溫度:50 ℃,±0.1 ℃
校準(zhǔn)界面
運(yùn)行:通過42鍵觸摸鍵盤手動控制
校準(zhǔn)設(shè)置:20個出廠設(shè)定的校準(zhǔn)序列,每個序列最多20個校準(zhǔn)點(diǎn)
校準(zhǔn)類型:氣體稀釋,臭氧,GPT
氣體設(shè)定:1個稀釋氣,20個源氣
自動校準(zhǔn):根據(jù)用戶設(shè)定的7天內(nèi)的校準(zhǔn)事件,提供20個定時驅(qū)動的校準(zhǔn)路徑
數(shù)字I/O:8位I/O控制校準(zhǔn)功能
接口:RS232
校準(zhǔn)系統(tǒng)
運(yùn)行溫度:5~40 ℃
規(guī)格尺寸:6.2"(15.6 cm)H×14.3"(36.4 cm)W×12.4"(31.6 cm)D
重量:19 lbs.(8.6 kg)
輸入電壓:98~264 VAC,100 VA,50/60 Hz