日本irs 半導(dǎo)體過(guò)程溫度監(jiān)控器 NTM-DeLTA/NTM-ETA
特征
1.原位、非接觸式過(guò)程溫度監(jiān)測(cè)
2.實(shí)時(shí)發(fā)射率和溫度測(cè)量（同一測(cè)量點(diǎn)）
3.實(shí)現(xiàn)高靈敏度和寬動(dòng)態(tài)范圍
4.支持高采樣率（~3kHz）
5.接口豐富
6.ETA和DeLTA配合使用可自動(dòng)輸入發(fā)射率
目的
1.RTP流程
2.物理氣相沉積工藝
3.CVD工藝
4.蝕刻工藝
5.MOCVD工藝等
我們的實(shí)時(shí)發(fā)射率校正型半導(dǎo)體工藝溫度監(jiān)控器可以實(shí)時(shí)測(cè)量和校正目標(biāo)晶圓的發(fā)射率，這在以前是不可能的，因此無(wú)論晶圓薄膜的類(lèi)型如何，都可以實(shí)現(xiàn)精確的溫度測(cè)量。
日本irs 半導(dǎo)體過(guò)程溫度監(jiān)控器 NTM-DeLTA/NTM-ETA
特征
1.原位、非接觸式過(guò)程溫度監(jiān)測(cè)
2.實(shí)時(shí)發(fā)射率和溫度測(cè)量（同一測(cè)量點(diǎn)）
3.實(shí)現(xiàn)高靈敏度和寬動(dòng)態(tài)范圍
4.支持高采樣率（~3kHz）
5.接口豐富
6.ETA和DeLTA配合使用可自動(dòng)輸入發(fā)射率
目的
1.RTP流程
2.物理氣相沉積工藝
3.CVD工藝
4.蝕刻工藝
5.MOCVD工藝等
我們的實(shí)時(shí)發(fā)射率校正型半導(dǎo)體工藝溫度監(jiān)控器可以實(shí)時(shí)測(cè)量和校正目標(biāo)晶圓的發(fā)射率，這在以前是不可能的，因此無(wú)論晶圓薄膜的類(lèi)型如何，都可以實(shí)現(xiàn)精確的溫度測(cè)量。
公司簡(jiǎn)介
深圳九州工業(yè)品有限公司，坐落于深圳市，是一
家工業(yè)品綜合服務(wù)商。主要包括機(jī)電設(shè)備、電子
產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷(xiāo)售及其它國(guó)內(nèi)貿(mào)
易、經(jīng)營(yíng)進(jìn)出口等業(yè)務(wù)。搭建工業(yè)品供應(yīng)鏈，采
用與 MRO分銷(xiāo)商結(jié)盟的方式，把零散采購(gòu)訂單集
中處理，流程簡(jiǎn)化，提供一站式供應(yīng)服務(wù)。在美
國(guó)、德國(guó)、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣建專業(yè)國(guó)際采
購(gòu)團(tuán)隊(duì)、技術(shù)顧問(wèn)、銷(xiāo)售團(tuán)隊(duì)為各種領(lǐng)域提供各
類(lèi)高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務(wù)。通過(guò)與
廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國(guó)外生產(chǎn)廠
家建立了長(zhǎng)久合作伙伴關(guān)系。
