50t/h電子級高純水設備介紹 | |
電子級高純水設備采用反滲透技術(shù),全膜法制取高純水,水質(zhì)穩(wěn)定18兆歐以上,具有自動化程度高,設備集成程度高,綠色環(huán)保,操作維護簡便等特點。 | |
■主要用途: | |
※電子線路板生產(chǎn)制造用高純水設備; | |
※半導體芯片晶元清洗用純水設備; | |
※太陽能光伏(硅粉生產(chǎn)、單晶多晶生產(chǎn)、石英坩堝、多晶硅方舟、太陽能電池片生產(chǎn))用電子級高純水設備 | |
※鋰電池新能源材料生產(chǎn)用去離子水設備 | |
※納米和高純度電子級材料生產(chǎn)用超純水設備 | |
■系統(tǒng)處理工藝流程圖 | |
原水→原水箱→原水增壓泵→超濾膜系統(tǒng)→凈水箱→增壓泵→阻垢劑加藥系統(tǒng)/還原劑加藥系統(tǒng)→保安過濾器→高壓泵1→反滲透裝置1(I級二段)→中間水箱→PH調(diào)節(jié)裝置→高壓泵2→反滲透裝置2→純水箱→輸送泵→EDI電除鹽系統(tǒng)→EDI高純水箱→高純水輸送泵→拋光混床→TOC去除器→過濾器→用水點 | |
注:本系統(tǒng)采用反滲透和EDI處理工藝,主要有四個部分組成,預處理系統(tǒng)、二級反滲透主機系統(tǒng)、EDI電除鹽系統(tǒng)、拋光混床系統(tǒng); | |
原水采用自來水通過增壓泵增壓進入超濾系統(tǒng),去除水中的懸浮物、膠體等,配套有還原劑加藥系統(tǒng)和阻垢劑加藥系統(tǒng),可有效降低水中渾濁度,防止反滲透膜的結(jié)垢,提高反滲透膜的使用壽命; | |
二級反滲透系統(tǒng)采用陶氏或海德能品牌反滲透膜技術(shù),自動制膜技術(shù)有效保證每支膜的水處理性能。I級反滲透采用CPA3型號的反滲透膜,該膜具有脫鹽率較高、操作壓力較小,抗污染性能,膜的脫鹽率可以達到99.7百分之;二級反滲透膜采用BW30-400系列膜,該膜廣泛使用二級反滲透系統(tǒng)中,相對于其它膜在二級中具有更好的脫鹽效率。二級反滲透出水水質(zhì)電導率可以達到5微西門子以下; | |
EDI電除鹽系統(tǒng)采用雙電壓模塊,EDI作為綠色脫鹽模式,具有以下優(yōu)點:占地面積省、運行成本低、系統(tǒng)設計簡單、水質(zhì)穩(wěn)定、安裝維修簡便、綠色環(huán)保,不需要酸堿再生、可實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)。EDI出水電阻率可以達到15~17兆歐; | |
拋光混床系統(tǒng)采用上海樹脂廠和羅門哈斯合資品牌拋光核級樹脂,拋光混床作為制取超純水的核心部件,經(jīng)處理后出水可以達到18兆歐以上,滿足微電子行業(yè)用水要求; | |
系統(tǒng)中電氣控制情況 | |
本設備采用觸摸屏PLC控制,系統(tǒng)中各工藝點的運行情況,在觸摸屏中都有所設計,系統(tǒng)故障有警示及指示功能,可以通過觸摸屏直觀的了解設備運行情況、故障分析; | |
該設備中的水箱和水泵均設計有液位連動控制,可以實現(xiàn)系統(tǒng)無人值守; | |
高壓泵均設計有壓力保護裝置; | |
系統(tǒng)中的高純水電阻率儀有警示和信號輸出功能,在水質(zhì)達不到設定要求自動警示。 | |
■技術(shù)參數(shù)總表 | |
項目 型號 | CL-50T/H型高純水設備 |
應用行業(yè) | 高純水工藝用水 |
設備控制方式 | 觸摸屏PLC控制,各液位、壓力連鎖控制,實現(xiàn)無人值守 |
產(chǎn)水量 | 50T/H |
進水水質(zhì)指標 | 市政自來水 ,電導率≤800μS/cm |
產(chǎn)水水質(zhì) | 電阻率≥18MΩ.CM) |
反滲透設備系統(tǒng)脫鹽率 | 99.7百分之 |
自來水損耗 | 50t/h |
進水溫度 | 10~40℃ |
工作方式 | 可24小時運行 |
設備額定功率 | 約160KW |
電源 | 380V AC 50HZ 三相五線 |
反滲透系統(tǒng)回收率 | 70~75百分之 |
主機設備規(guī)格尺寸 | 長6000*寬2500*高2000 |
廠房建議尺寸(含操作維護空間) | 長25M*寬10M*高5M |
進水口徑 | DN125 PN1.0法蘭接口 |
出水口徑 | DN90 PN1.0法蘭接口 |
排污口徑 | DN120 PN1.0法蘭接口 |