真空環(huán)境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)Pa。爐內加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。高溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
優(yōu)點
1）消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關系。
2）對環(huán)境，不需進行三廢處理。
3）爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內。
4）機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎上，工件移動、氣壓調節(jié)、功率調節(jié)等均可預先編程設定，按步驟實施淬火和回火。
5）能耗顯著低于鹽浴爐?，F(xiàn)代的真空爐加熱室采用隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節(jié)能。
