產(chǎn)品名稱:丹麥SENS4真空傳感器VPM-5
產(chǎn)品型號(hào):VPM-5
產(chǎn)品介紹
VPM-5傳感器提供良好性能,并通過(guò)將可用的電導(dǎo)率真空測(cè)量?jī)x的可用測(cè)量范圍擴(kuò)展到1-3年來(lái)建立了新標(biāo)準(zhǔn)技術(shù),再加上新型的準(zhǔn)確數(shù)字信號(hào)處理架構(gòu)和創(chuàng)新測(cè)量算法。
丹麥SENS4真空傳感器VPM-5 性能特點(diǎn)
l 超寬的測(cè)量范圍為9年
l 通過(guò)S4-Connect USB程序員簡(jiǎn)化配置
l 0-10 VDC可編程電壓輸出
l 數(shù)字RS-232或RS485接口
l 穩(wěn)定Zero漂移補(bǔ)償
l 可選的固態(tài)設(shè)定點(diǎn)繼電器用于過(guò)程控制
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)地:丹麥
磁滯1×10-3至10 MBAR(ISO19685:2017):1%
滯后10至1333 MBAR(ISO19685:2017):0.1%
模擬輸出分辨率:16位(150 µV)
模擬輸出更新率:124 Hz
響應(yīng)時(shí)間(ISO 19685:2017):<20 ms
溫度補(bǔ)償:+10至+50°C
固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍:5×10-6至1333 MBAR(3.75×10-6至1000 Torr)
固態(tài)繼電器接觸評(píng)級(jí):50 V,100 MARMS / MADC
環(huán)境條件:
操作環(huán)境溫度:-20至+50°C
介質(zhì)溫度:-20至+50°C
存儲(chǔ)環(huán)境溫度:-40至+120°C
烘烤溫度(非操作):+120°C
安裝位置:任意
濕度,IEC 68-2-38:98%,無(wú)調(diào)
電源:
電源電壓:12-30 VDC
功耗:240 MW(max)
反極性保護(hù):是
電壓保護(hù):是
內(nèi)部保險(xiǎn)絲:100 mA(可回收)
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品應(yīng)用
質(zhì)譜儀
掃描電子顯微鏡
爐熱處理
玻璃,光學(xué),工具等的PVD涂層
制冷服務(wù)和制造
半導(dǎo)體處理