一.全氣體支持,包括但不限于:
He, H2, 5%H2/95%N2, O2, D2, He3, Ar, Ke, Ne, Xe, N2, CO2, CO, CH4, C2H6, CH3CH3...
冷媒/鹵素/制冷劑:SF6/R134a/R22/R290/R410a/R407c/R545b/R600a/R1234yf/R1234yfze
液體:DMC電解液,十二烷C12H26...
混氣:如N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1, 各種混合比例氣體
二.全量程、全壓力支持,并支持同時(shí)壓力和漏率的精確定制:
漏率:100L/H ~ 5x10-12 mbar.L/s
壓力:0-40Mpa;
1.有源漏孔(帶氣室)
抗震抗摔,高階壓力,極低衰減,溫度系數(shù)0.1%/℃,工作溫度:-20-65℃
1.1 He有源漏孔:
負(fù)壓漏孔:入真空漏率范圍5x10-2mbar.L/sec~5x10-12mbar.L/sec
正壓漏孔:入大氣漏率范圍5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec
1.2 H2和其他氣體有源漏孔(包含混合氣):
負(fù)壓漏孔,入真空漏率范圍5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec
正壓漏孔,入大氣漏率范圍5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec
充氣壓力:12Mpa
各類(lèi)定制:根據(jù)客戶(hù)要求可定制氣室規(guī)格、閥門(mén)類(lèi)型、對(duì)外接口
氣室規(guī)格:50cc,100cc,160cc,200cc,300cc,500cc,1000cc等。
閥門(mén)類(lèi)型:無(wú)閥門(mén),手動(dòng)截止閥,隔膜閥(手動(dòng)/氣動(dòng)),零體積閥(手動(dòng)/氣動(dòng)),全金屬閥...
接口類(lèi)型:KF, VCR,NPT螺紋, G螺紋,R螺紋,吸槍適配口...
2. 無(wú)源漏孔(所有氣體):
負(fù)壓漏孔入真空漏率范圍6L/min~1x10-9mbar.L/sec
正壓漏孔入大氣漏率范圍100L/min~5x10-9mbar.L/sec
壓力:0-40Mpa
接口類(lèi)型:KF, VCR,NPT螺紋, G螺紋,R螺紋,吸槍適配口...
三.產(chǎn)品形態(tài)多樣化:
1.有源漏孔(帶氣室)、開(kāi)放式無(wú)源漏孔(模擬和仿真泄漏件,模擬客戶(hù)工件的測(cè)試壓力與測(cè)試漏率進(jìn)行定制,外接氣源和壓力)
2.真空漏孔、正壓漏孔(出口壓力為大氣壓)、或同時(shí)支持真空/正壓漏孔(RMI-MTC微通道毛細(xì)管支持壓力,對(duì)于≥5x10-9mbar.L/sec真空漏率/正壓漏率相差可以做到小于0.1%)
3.背壓式標(biāo)準(zhǔn)漏孔(模擬壓氦體積最小1μL),模擬客戶(hù)背壓測(cè)試工件條件,包括測(cè)試壓力,背壓體積,以及漏率要求。睿米推出背壓式標(biāo)準(zhǔn)漏孔,用于動(dòng)力電池pack密封測(cè)試。
4.可調(diào)漏率標(biāo)準(zhǔn)漏孔,如TLS3-5(10-3mbar.L/sec-10-5mbar.L/sec漏率可調(diào)),TLS4-6(10-4mbar.L/sec-10-6mbar.L/sec漏率可調(diào))
5.鹵素/冷媒/制冷劑標(biāo)準(zhǔn)漏孔:支持所有的制冷劑類(lèi)型,采用液態(tài)+氣態(tài)雙氣室設(shè)計(jì),一次充注,長(zhǎng)期使用。并使用數(shù)字壓力表,精確調(diào)壓和調(diào)漏率,漏率支持:1x10-6Pa.m3/sec~1x10-3pa.m3/sec,或支持0.1-1000克/年。
6.氣密性漏孔,介質(zhì)為空氣或N2。用于校準(zhǔn)氣密檢漏儀或進(jìn)行工件模擬、仿真、和校準(zhǔn)。定制漏率范圍:100L/min~0.0001ml/min,壓力:-1~40Mpa
7.RMI-ZVTM零體積閥標(biāo)準(zhǔn)漏孔:常規(guī)閥體死體積一般0.5-2cc,采用睿米自研零體積手動(dòng)/氣動(dòng)閥,閥體死體積僅為0.00098cc(0.98μL),提高2~3個(gè)量級(jí)。適用于大漏率標(biāo)準(zhǔn)漏孔,可以限度降低氣體損失以及漏率衰減;同時(shí)可用于真空系統(tǒng)/四極質(zhì)譜/RGA/半導(dǎo)體等應(yīng)用場(chǎng)景,消除閥門(mén)開(kāi)關(guān)對(duì)高真空系統(tǒng)的沖擊。
8.混氣標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔:如N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1,或客戶(hù)氣體種類(lèi)或混合比
9.液態(tài)標(biāo)準(zhǔn)漏孔:如DMC電解液標(biāo)準(zhǔn)漏孔,十二烷C12H26標(biāo)準(zhǔn)漏孔
10.高壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔:壓力≥5Mpa。如He壓力35Mpa,漏率為3.0x10-5mbar.L/sec;或如He壓力5Mpa,漏率為1.0x10-6mbar.L/sec
11.豐富的接口類(lèi)型:支持常見(jiàn)的KF16, KF25, KF40, KF50,CF16, CF40, VCR1/4, G1/8, G1/4, R1/4, R1/8, 1/8NPT, 1/4NPT, M8, M10, Staubli等。大部分接口采用一體化設(shè)計(jì),如閥門(mén)與VCR,KF25接口一體化設(shè)計(jì),無(wú)源漏孔采用一體化設(shè)計(jì)等,很大程度降低泄露或物理上避免泄漏的發(fā)生。
12.各種閥門(mén):手動(dòng)截止閥,全金屬閥,隔膜閥,零體積閥..., 睿米自研的閥體,采用硬質(zhì)密封技術(shù),在壓力>10MPa條件下,實(shí)現(xiàn)漏率<1x10-9atm.cc/sec
四.的性能指標(biāo):
睿米標(biāo)準(zhǔn)漏孔性能指標(biāo)(如漏率穩(wěn)定性、可重復(fù)性,抗溫度影響,抗堵塞,抗震抗摔,高低溫測(cè)試)優(yōu)于國(guó)外/國(guó)內(nèi)同類(lèi)產(chǎn)品,使用壽命數(shù)倍于國(guó)外/國(guó)內(nèi)同類(lèi)產(chǎn)品!
1.高壓力,極低衰減,極低或無(wú)需維護(hù),使用壽命長(zhǎng),無(wú)源標(biāo)準(zhǔn)漏孔支持40Mpa壓力,可以模擬/仿真高壓油軌泄露或高壓力容器等,有源漏孔支持12Mpa,是大部分廠(chǎng)家的1~2Mpa的數(shù)倍,也就是說(shuō)同等條件下,充氣其他廠(chǎng)家的1Mpa標(biāo)準(zhǔn)漏孔如果1年衰減10%,睿米微通道毛細(xì)管漏孔10年才衰減10%,睿米有源標(biāo)準(zhǔn)漏孔,包括正壓和真空漏孔,<1x10-6mbar.L/sec的可以實(shí)現(xiàn)生命周期無(wú)需補(bǔ)氣免維護(hù); 即使如5x10-2mbar.L/sec的,結(jié)合睿米零體積閥體,可以實(shí)現(xiàn)數(shù)年無(wú)需補(bǔ)氣,極大降低維護(hù)工作以及使用成本。
2.抗震,抗摔,抗高壓沖擊,防堵塞性好:
睿米R(shí)MI-MTCTM微通道漏孔可以支持抗震、抗摔,耐操性強(qiáng);之前國(guó)外/國(guó)內(nèi)的大部分的標(biāo)準(zhǔn)漏孔需要細(xì)心苛護(hù),運(yùn)輸?shù)臅r(shí)候要用防震棉,使用的時(shí)候要輕拿輕放,不小心磕碰就損壞,昂貴的標(biāo)準(zhǔn)漏孔成了一種易消耗品。使用的時(shí)候,壓力過(guò)高,充壓/泄放過(guò)快都有可能造成漏孔損壞,睿米R(shí)MI-MTCTM微通道毛細(xì)管標(biāo)準(zhǔn)漏孔,是業(yè)界目前支持暴力測(cè)試的,例如我們把標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行跌落測(cè)試、砸摔測(cè)試,冷凍測(cè)試(放到冰箱-20℃急凍),漏孔工作正常。
3.廣泛的環(huán)境和工況適應(yīng)性:
抗震抗摔,抗高壓力反復(fù)沖擊(到40Mpa),溫度支持-20~65℃, 其溫度對(duì)漏率的影響業(yè)界最小,僅為0.1%/℃,可以廣泛的應(yīng)用于工作惡劣之環(huán)境,同時(shí)滿(mǎn)足科研,半導(dǎo)體、光源等高等級(jí)之需求。
4.的交付能力:
睿米的自研RMI-CalTM專(zhuān)有算法,對(duì)加工工藝、流導(dǎo)計(jì)算進(jìn)行優(yōu)化, 可以根據(jù)客戶(hù)的壓力和漏率進(jìn)行快速定制,定制漏率公差±10%、±5%或±2%, 交付周期3-5天。