產(chǎn)品簡介
OWT-200才用PHYS*技術(shù),對透明、半透明、不透明幾乎所有的材料的厚度,TTV,LTV,彎曲度,平整
度進(jìn)行無接觸測量,其對透明、半透明材料的高精度精確測量的性價比在同類測試儀器中是*的。
特征
■無接觸無損傷測量
■高精確度及重復(fù)性
■測量材料范圍廣,透明、半透明、不透明幾乎所有材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
■抗干擾強(qiáng),穩(wěn)定性好
■強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示
■一體化設(shè)計操作更方便,系統(tǒng)穩(wěn)定
■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量
■超高測試速度
技術(shù)指標(biāo)
■測試尺寸:50mm-200mm.
■厚度測試范圍:1000 um,可擴(kuò)展到1700 um
■ 厚度測試精度:+/-0.1um
■ 厚度重復(fù)性精度:0.050um
■ TTV 測試精度: +/-0.1um
■ TTV重復(fù)性精度: 0.01um
■ Warp/Bow精度: 0.2um
■ Warp/Bow重復(fù)度: 0.5um
■測量時間: <100秒
■ 材料:透明、半透明、不透明幾乎所有的材料
■ 尺寸: 560X650X400mm
■ 電源:220V 50HZ 300W
主要客戶:歐洲、美洲、中國臺灣等地區(qū)藍(lán)寶石生產(chǎn)企業(yè)
詳情咨詢:
北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司
北京市通州區(qū)工業(yè)開發(fā)區(qū)光華路16號
: -104 -608
:肖
:xiaozongyong@henergysolar.com
公司:http://www.HenergySolar.com