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箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)型號(hào):YQDH-500ZZS

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  • 公司名稱北京中慧天誠(chéng)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)YQDH-500ZZ
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/7/12 14:53:44
  • 訪問次數(shù)442
產(chǎn)品標(biāo)簽:

箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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中慧天誠(chéng)是一家集儀器表供應(yīng),技術(shù)服務(wù),售后為一體的儀器儀表供應(yīng)商。

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適用于制備導(dǎo)電薄膜,半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,薄膜研究及新材料工作。其主要特點(diǎn)為功能強(qiáng)、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便。
箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)型號(hào):YQDH-500ZZS 產(chǎn)品信息

箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)型號(hào):YQDH-500ZZS
 
貨號(hào):ZH5496
產(chǎn)簡(jiǎn)
  適用于制備導(dǎo)電薄膜,半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,薄膜研究及新材料工作。其主要特點(diǎn)為功能強(qiáng)、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便。
主要技術(shù)參數(shù)
1、鍍膜室體積:500×500×600mm3,規(guī)格可定做;
2、極限真空度:6.7×10-5 Pa,恢復(fù)真空:從大氣抽至6.7×10-4 Pa ≤(40分鐘);
3、真空抽氣系統(tǒng):機(jī)械泵與復(fù)合分子泵組成;真空測(cè)量系統(tǒng):復(fù)合數(shù)顯真空計(jì);
4、蒸發(fā)源:電子束蒸發(fā)源:270°E型電子槍及高壓電源,電子槍功率0~6KW可調(diào);
           電阻蒸發(fā)源:銅水冷電極4根,功率:3kW/10V兩組;
5、結(jié)構(gòu)形式:立式前開門后置抽氣系統(tǒng);
6、工件烘烤溫度:室溫~800℃可控可調(diào)(PID控溫);
7、旋轉(zhuǎn)夾具:公轉(zhuǎn)或行星公自轉(zhuǎn)夾具。速度從 0r~30r/min 級(jí)可調(diào);
8、選配件:光學(xué)膜厚測(cè)量系統(tǒng)、石英晶振測(cè)厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機(jī)組等;
9、供電電源:三相AC380V,50Hz;整機(jī)功率22KW。
 


 

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