光電參數(shù)符號測試條件典型值單位
光敏面面積φ1×15mm
光譜相應(yīng)λ320~1100nm
光譜峰值相應(yīng)λVr=5V,920nm
靈敏度ReVr=5V,
λ=920nm0.5A/W
位置分辨率Pr0.5μm
位置檢測誤差E±10μm
暗電流IdVr=5V,100nA
工作電壓VR5V
工作溫度T-10~50℃
PSD(Position Sensitive Detectors)是一種能測量光點(diǎn)在探測器表面上連續(xù)位置的光學(xué)探測器。PSD由P襯底、PIN光電二極管及表面電阻組成。與CCD探測器相比,PSD有諸多優(yōu)點(diǎn),如位置分辨率高,響應(yīng)速度快和處理電路簡單等。另外,位置信號與落在探測器上的光斑形狀無關(guān)。
我公司可提供各種精度和規(guī)格尺寸的PSD探測器。
特點(diǎn)
●位置分辨率高
●光譜響應(yīng)寬
●響應(yīng)速度快
●位置和光強(qiáng)同時測量
●不受光斑的約束
●性高
應(yīng)用范圍
●光學(xué)位置和角度的探測
●光學(xué)遙測系統(tǒng)
●位移和振動測量
●激光對中和準(zhǔn)直
●距離測試
●人類運(yùn)動姿態(tài)分析
工作原理與PSD特點(diǎn)
1 結(jié)構(gòu)
如圖1截面圖所示,PSD由在平面硅襯底上的三層組成:P型層在表面,N型層在另一面,I層在它們中間。落在PSD上的入射光轉(zhuǎn)換成光電子后由P型層上兩端電極探測并形成光電流。
圖1
2 原理
當(dāng)一束光落在PSD上,相應(yīng)于光能量的電荷在入射點(diǎn)產(chǎn)生,電荷通過P型電阻層被電極收集。P型層是均勻一體的電阻層,被電極收集到的光電流與入射點(diǎn)和電極間距成反比。
由此可得出如下公式:I1和I2是電極的光電流,L和I0分別代表電極間距和總光電流。
圖2
當(dāng)PSD幾何中心設(shè)定為坐標(biāo)原點(diǎn):
----------(1) ----------(2)
----------(3) ----------(4)
當(dāng)PSD一端設(shè)定為坐標(biāo)原點(diǎn):
----------(5) -----------(6)
----------(7) ----------(8)
由公式(3),(4),(7),(8)顯示,不同的比率可得出相應(yīng)的與光能量無關(guān)的入射光點(diǎn)的位置。
3一維PSD
PSD分兩種類型:一維PSD(稱1D-PSD)和兩維PSD(稱2D-PSD)探測器,圖3a是1D-PSD的結(jié)構(gòu)圖。
a b
圖 3
圖3b是1D-PSD的等效電路圖。由于有寄生Cj和Rp,它們的時間常數(shù)決定了PSD的響應(yīng)速度。通過集成電路處理,1D-PSD可用于探測100ps脈沖寬度的激光光斑。
4 2D-PSD
2D-PSD是一種改進(jìn)型四側(cè)面結(jié)構(gòu),包括改進(jìn)敏感面和電極。另外,器件暗電流小,響應(yīng)速度高和設(shè)置偏壓容易,邊緣畸變小。
圖 5
5 轉(zhuǎn)換公式
PSD光敏面上光點(diǎn)位置可由如下公式得出:這里 X1和X2代表每一電極輸出信號(光電流),x是光點(diǎn)位置坐標(biāo)。
圖 6
圖 7
6 電路
圖8是1D-PSD直流處理
電路原理圖。Vr是偏置電壓。
圖8
7 PSD處理電路
我所可提供1D-PSD和2D-PSD信號處理電路。1D-PSD,2D-PSD分別是1D-PSD和2D-PSD非調(diào)制信號處理板。只要簡單地把處理板連接電源,位置信號就能得到。
本所研制開發(fā)了調(diào)制信號處理電路,數(shù)據(jù)可以液晶顯示,可以通過RS232口與計(jì)算機(jī)通訊。
本所還具有PSD應(yīng)用整機(jī)開發(fā)的實(shí)力。
PSD探測器
●W101(1D-PSD)
有效光敏面 1×3mm
分辨率 0.1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 0.5μs
工作溫度 -10~60℃
●W103(1D-PSD)
有效光敏面 1×15mm
分辨率 0.1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 0.8μs
工作溫度 -10~60℃
●W104(1D-PSD)
有效光敏面 2.0×20mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 1μs
工作溫度 -10~60℃
●W105(1D-PSD)
有效光敏面 2.5×34mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 5μs
工作溫度 -10~60℃
●W201(2D-PSD)
有效光敏面 10×10mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 0.8μs
工作溫度 -10~60℃
●W202(2D-PSD)
有效光敏面 15×15mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 0.8μs
工作溫度 -10~60℃
●W203(2D-PSD)
有效光敏面 21×21mm
分辨率 2μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 1μs
工作溫度 -10~60℃
●W204(2D-PSD)
有效光敏面 27×27mm
分辨率 2μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 2μs
工作溫度 -10~60℃
● W205(2D-PSD)
有效光敏面 43×43mm
分辨率 5μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 5μs
工作溫度 -10~60℃
輔助產(chǎn)品
●PSD精度標(biāo)定系統(tǒng)