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深圳市中圖儀器股份有限公司
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聯(lián)系方式：何漢英/羅健查看聯(lián)系方式
更新時間：2021-11-10 16:19:26瀏覽次數(shù)：156次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線SuperViewWX100白光干涉測頭
SuperView WX 100白光干涉測頭是一款非接觸式精密光學測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構的平臺上，在產(chǎn)線上對器件表面進行自動化形式的測量，直接獲取與表面質(zhì)量相關的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數(shù)。
圖1.WX-100白光干涉測頭
1、測量功能：能夠實現(xiàn)樣件表面的高精密Z向掃描，獲取3D圖像；
2、分析功能：能夠獲取關于表面質(zhì)量的粗糙度、微納級別的輪廓尺寸等2D、3D數(shù)據(jù)；
3、編程功能：支持預配置數(shù)據(jù)處理和分析工具步驟，一鍵完成測量到分析全過程；
4、批量分析：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對同類型參數(shù)數(shù)據(jù)實現(xiàn)一鍵批量分析；
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應用范例：
| 半導體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC |
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| 3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、金屬殼模具瑕疵、玻璃屏高度差 |
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1、便攜可搭載 *懸臂式結構，可方便地搭載在各類龍門架構水平位移平臺上，通過軟件接口的連接，即可構成一臺可自動測量的超高級精度的光學3D表面輪廓儀；
2、復合型掃描算法 結合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點的擴展型相移掃描重建算法，能夠適配 從超光滑到粗糙、光滑弧面等所有類型樣品，一鍵掃描，無須切換算法；
3、防撞保護功能 Z向防撞傳感器，當鏡頭碰到樣件表面，進入緊急停止狀態(tài)，不再下移；
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