石英管式微波等離子體發(fā)生裝置
(一)性能概況
1、微波2.45GHz；0～500W或0～1000W足額功率，連續(xù)可調(diào)；
2、本底真空不劣于10Pa；工作氣體分3路控制流(入)量；
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反應(yīng)室，置于微波系統(tǒng)和真空系統(tǒng)的偶合點(diǎn)上；
4、制冷循環(huán)水冷卻。
(二)典型實(shí)驗(yàn)
1、化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜、碳納米材料等；
2、集成電路等的刻蝕；
3、可催化引發(fā)常規(guī)化學(xué)很難實(shí)現(xiàn)的反應(yīng)；
4、高分子、金屬、生物材料表面改性。
(三)產(chǎn)品特色
1、微波準(zhǔn)零泄漏，確保人身安全；
2、微波足額功率，等離子體活力強(qiáng)勁；
3、樣品升降架精巧豪，可加熱可冷卻；
4、制冷循環(huán)水避免長流水費(fèi)水?dāng)_民；
5、循環(huán)水機(jī)可聯(lián)機(jī)可獨(dú)立使用；
6、缺水保護(hù)報(bào)警功能完善可靠；
7、排氣口有環(huán)保型油霧過濾器；
8、電控系統(tǒng)功能完善靈便醒目；
9、整機(jī)造型典雅大氣。
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