硅晶片高溫真空烘箱,450度硅芯片充氮真空烤箱
產(chǎn)品特點:
- 迅速脫氧:該箱內(nèi)膽采用不銹鋼制造,箱壁接縫全部采用氬弧焊焊接,密封性能,能快速脫氧;
- 高效率:穩(wěn)定和快速的升溫性能,有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量和效率;
- 保溫節(jié)能:箱體與工作室之間填充高密度纖維棉作保溫材料,有效保濕節(jié)能;
- 密封性好:箱門與工作室外框設有耐高溫無塵密封條和壓緊裝置,有效地保證了箱體的密封性能;
- 置物架:工作室內(nèi)設計可抽取的載物網(wǎng)板;
- 美觀簡潔:設備外形美觀,操作簡便,控溫靈敏準確;
主要技術參數(shù):
1:電源:AC380V 3φ 50HZ 18KW
2:工作尺寸:W560×D640×H600
外形尺寸:W910×D990×H1865
3:溫度范圍:RT+10℃~450℃
4:升溫速率:2 ℃/minute~4 ℃/minute
5:降溫速率:2 ℃/minute~4 ℃/minute(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)
6:外壁材料: 冷扎碳鋼板,經(jīng)防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷;
7:內(nèi)膽材料: 5mm厚,SUS304不銹鋼,不銹鋼內(nèi)外表面拋光;
8:保溫材料:厚度150毫米硅酸保溫棉,保溫性能良好;
9:門:真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)
10:真空泵: LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);
11:真空度: ≤10 pa;
12:加熱元件:四面輻射加熱;
13:電器系統(tǒng):系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停;
14:溫控輸出:SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態(tài)繼電器
15:安全保護:加熱電流過流、系統(tǒng)短路保護、電壓過壓保護、真空泵過負載、缺相保護、電爐超溫報警等功能。
硅晶片高溫真空烘箱,450度硅芯片充氮真空烤箱