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上海旦順實業(yè)有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號VOD-90
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
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更新時間:2017-10-20 21:52:15瀏覽次數(shù):884次
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VOD-90晶圓芯片真空高溫烘箱,400度真空充氮烤箱型號
VOD-90
一、產(chǎn)品名稱及型號:
1.1產(chǎn)品名稱:真空高溫干燥箱
1.2產(chǎn)品型號:VOD-90
二、主要技術指標:
2.1 電源:AC380V 3φ 50HZ
2.2 規(guī)格尺寸,功率:
型號 | 工作尺寸(mm) | 外形尺寸(mm) | 功率 |
VOD-90 | W450×D450×H450 | W800×D800×H1715 | 12Kw |
2.3 升溫、降溫速率要求:
zui大升溫速率: ≥4 ℃/minute
zui小升溫速率: 2 ℃/minute
zui小降溫速率: 2 ℃/minute
zui大降溫速率: ≥4 ℃/minute (400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)
常用溫度: 350℃
zui高溫度:450℃
三、箱體結構:
外壁材料: 冷扎碳鋼板,經(jīng)防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷;
內(nèi)膽材料: 5mm厚,SUS304不銹鋼,不銹鋼內(nèi)外表面拋光;
保溫材料:厚度150毫米硅酸保溫棉,保溫性能良好;
門:真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)
四、真空度:
真空泵: LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);
真空度: ≤10 pa;
五、加熱系統(tǒng):
加熱元件:四面輻射加熱;
六、電器系統(tǒng):
系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停;
溫控輸出:SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態(tài)繼電器
七、安全保護:
加熱電流過流、
系統(tǒng)短路保護;
電壓過壓保護;
真空泵過負載、
缺相保護;
電爐超溫報警等功能。
VOD-90晶圓芯片真空高溫烘箱,400度真空充氮烤箱型號
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