* 真空艙體 Φ267mm × L420 mm 水平 （24 升）
*石英/玻璃艙體Φ240mm,L400mm艙體容量：約24升/18升
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極
* 雙氣路：銅氣體管、氣體流量計、針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程
* 半自動控制
* 功率連續(xù)可調(diào) 0-300W
* 自動阻抗匹配
* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能：真空觸發(fā)、艙門鎖
* 電磁閥保護，回流油霧不能進入艙體
* 規(guī)格：W580 mm×H650 mm× D500 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type D8B（8m3/h）
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體（外置環(huán)形電極）或石英艙體
* 全自動控制
配件選裝指南:
· 13.56MHz射頻發(fā)生器 · 2.45GHz射頻發(fā)生器 · 半自動控制系統(tǒng) · 全自動控制系統(tǒng) - 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)
· 計算機（PC）控制系統(tǒng) - 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)同時可記錄處理的整個過程
· 附加氣體通路 · 自動真空艙門 · 設(shè)備自動門 · 條碼閱讀器 · 偏壓測量系統(tǒng) · 碟型閥 · 排氣過濾系統(tǒng) · 適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)
· 艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸 · 粉末處理裝置 · 法拉第容器
· 氣體供給系統(tǒng) - 在等離子聚合過程中提供密度均勻的單體
· 玻璃艙體（硅酸鹽或石英） · 預(yù)熱板 · 等離子測量傳感器 - 應(yīng)用在等離子聚合過程和含腐蝕性環(huán)境中
· 真空泵抽氣入口過濾器 · 標(biāo)簽打印機 · 標(biāo)簽閱讀機 · 加深艙體 · 單體瓶 - 輕松的控制不穩(wěn)定的液體含量
· 網(wǎng)絡(luò)連接系統(tǒng) · 聚合處理附件 · 氣瓶出氣減壓閥 · 石英玻璃皿
· 卷軸艙體系統(tǒng)- 適用于批量處理薄膜、箔等
· RIE電極（適用于刻蝕） · 旋轉(zhuǎn)艙體系統(tǒng) - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理 · 安全閥
· 服務(wù)條約 - 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔…
· 附加的配件 · 特殊的電極和托盤 · 特殊法蘭/附加法蘭 · 特殊軟件 · 特殊真空艙體 · 過程溫度測量
· 測試墨水（用于測試表面接觸角）
