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上海添時科學儀器有限公司
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產(chǎn)品型號OTF-1200X-Ⅲ-R5-PECVD
品 牌
廠商性質0
所 在 地
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更新時間:2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù):154次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強化學氣相沉積三溫區(qū)回轉管式爐系統(tǒng)(R-PECVD),等離子增強系統(tǒng)的引入可在相對較低的溫度下實現(xiàn)粉末表面的包覆復合、核殼結構制備等工藝過程。自動進出料系統(tǒng)可實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn),可保證在氣氛保護環(huán)境下進行粉體的進給和收集,包含射頻電源(帶自動匹配功能)、四通道質子流量計控制系統(tǒng)及真空泵系統(tǒng),可由PLC觸摸屏或PC電腦控制,使用方便快捷。
產(chǎn)品特點:
•爐體在0- 25°內(nèi)傾斜,有利于粉末樣品的裝卸;
•齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;
•四通道質子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控;
•配備自動進出料系統(tǒng)可實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn),可保證在氣氛保護環(huán)境下進行粉體的進給和收集。
加熱爐參數(shù):
三溫區(qū)回轉爐
•溫度:1200℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1100℃;
•三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;
•輸入功率:208-240 V,單相,功率:4KW;
•高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗;
•回轉爐旋轉速度:2-10 rpm;
•爐體開啟式設計以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。
射頻電源:
真空系統(tǒng):
•·采用TRP-12的雙旋真空泵;
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(tǒng)(可選):
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
•流量范圍:
•電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;
•氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
產(chǎn)品尺寸和重量:
•設備尺寸: 2800mm L'800mm W'1700mm H
•供氣系統(tǒng):600mm L'700mm W'700mm H
•凈重:180 kg
承諾:
一年保質期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件
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