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上海添時科學(xué)儀器有限公司
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產(chǎn)品型號OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL
品 牌
廠商性質(zhì)0
所 在 地
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更新時間:2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù):148次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,80mm 0D1800mm L的滑動式雙溫區(qū)管式爐,4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組,可用于生長納米或石墨烯材料。
產(chǎn)品特點(diǎn):
•射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;
•滑軌式可快速加熱和快速冷卻;
•兩個加熱區(qū),溫度梯度可達(dá) 200°c;
•可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。
加熱爐參數(shù):
•溫度:1200°C(<30min),連續(xù)工作溫度:1100℃;
•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng);
•輸入功率:208-240V,單相,功率:3KW;
•高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗;
•爐體開啟式設(shè)計,以達(dá)到對樣品快速降溫,方便更換爐管。
射頻電源:
真空系統(tǒng):
•·采用TRP-12的雙旋真空泵;
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
•真空度可達(dá)10-2Torr。
供氣系統(tǒng)(可選):
•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
•流量范圍:
•電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;
•氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出;
• PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
產(chǎn)品尺寸和重量:
設(shè)備總體尺寸:2200mmL 800mmW 1500mmH
凈重:610kg
注意:
采用氬氣高于射頻功率200W情況下,需特殊說明:設(shè)備需要特殊改造幾測試,(有法蘭過熱情況)
質(zhì)保:
一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件
因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
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