當前位置：上海添時科學儀器有限公司>>工業(yè)半導體設備>>全自動標準2-6寸勻膠顯影機

全自動標準2-6寸勻膠顯影機

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號

品牌

廠商性質0

所在地

在線詢價收藏產品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：徐鰲查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-04-28 10:51:40瀏覽次數(shù)：1299次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產品分類 品牌分類

  工業(yè)半導體設備

全部產品列表

暫無信息

上海添時科學儀器有限公司

經營模式：

商鋪產品：1313條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：徐鰲（經理）

詢價 給他留言

產品簡介

全自動標準2-6寸勻膠顯影機適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝設備配置:4套勻膠（顯影）、10套熱（冷）板單元6寸以下wafer全自動勻膠/顯影,烘烤全自動工藝處理整機適合產能要求較高的批量產線根據(jù)客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風棒等模塊可選配MES協(xié)議轉換模塊

詳細介紹

大型勻膠/顯影機

顯影是指用還原劑把軟片或印版上經過曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現(xiàn)出來的同時，獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機是將曬制好的印版通過半自動和全自動的程序將顯影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設備。

產品介紹

適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝
設備配置:4套勻膠(顯影)、10套熱(冷)板單元
6寸以下wafer全自動勻膠/顯影,烘烤全自動工藝處理
整機適合產能要求較高的批量產線
根據(jù)客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風棒等模塊
可選配MES協(xié)議轉換模塊

產品參數(shù)

旋轉速度范圍:20-5000rpm
加速度范圍:20-20000rpm/s
轉速精度:±1rpm
熱盤溫度范圍:50℃-200℃
熱盤溫度均勻性:±1%
冷盤溫度范圍:20°℃-25°℃
冷盤溫度均勻性:±0.2℃
光刻膠粘度:0-1000Cp(可選高粘度光膠機臺)
膠泵類型:氣動或電動膠泵
光刻膠或顯影液管路:≤3路
流量監(jiān)控:浮子式流量計(可選配超聲流量計)
設備尺寸:1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)

關鍵詞：流量計