DMF系列數(shù)字質量流量控制器可對不同氣體的流量進行編程,記錄,分析和控制.控制器采用了直管傳感器和限流元件,這保證了層流氣體流量的精度與重復性。DMF系列不受溫度和壓力變化的影響。
控制器可以針對不同的控制器功能進行編程,包括設定流量值,累計,終止累計,從預定值累計,終止和預定總數(shù),自動調零等等.自動調零特性采用了自動調零調整電路,這實際上消除了零漂和量程漂移,此外,DMF系列控制器帶有兩個干式觸點對泵,閥門和其它設備進行控制。
DMF系列的特點是有一自整定功能,它可以使對一定壓力小的特定氣體的調節(jié)達到*,在開機時就進行自診斷測試,從而保證控制器工作在*工況下??刂破髦袃Υ媪硕噙_10種的氣體校準信息和256種不同氣體的轉換因數(shù),氣體流量高低速限制警報器經(jīng)由RS-485接口進行編程.流量模式有相應軟件的支持,它允許執(zhí)行多達十條指令的自定義程序。
規(guī)格
介質:與接液部件兼容的清潔氣體
接液材質: 316不銹鋼,416不銹鋼,Viton® O型密封圈
精度: 滿量程時±1%包括線性以上59-77°F (5-25°C) 和5-60psia(0.35-4bar);
滿量程時±2% 32-122°F (0-50°C) 和5-150psia (0.3-10bar)
重復性: 滿量程的±0.15%
反應時間: 在20%-*滿量程以上設定點的±2%以內是0.6-1.0秒
輸出: 線性0-5VDC(2000Ω小負載阻抗);0-10VDC(4000Ω小負載阻抗)
zui大微粒尺寸:100微米
工作溫度: 41-122°F (5-50°C)
電源: ±15VDC;zui大功率13.5瓦
過程連接: 流速≤50L/m壓縮接頭是1/4 英寸;100和200L/m是3/8英寸
壓力范圍: 500psig(34.5bar)
泄漏率: 氦氣的1 x 10-7 sccs
計算機連接: RS-485
認證: CE
型號
流量范圍 | 型號 |
0-10 SCCM | DMF-41401 |
0-20 SCCM | DMF-41402 |
0-50 SCCM | DMF-41403 |
0-100 SCCM | DMF-41404 |
0-200 SCCM | DMF-41405 |
0-500 SCCM | DMF-41406 |
0-1 L/min | DMF-41407 |
0-2 L/min | DMF-41408 |
0-5 L/min | DMF-41409 |