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CMPA系列拋光液用高納污過濾濾芯

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上海頗勒過濾技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CMPA系列濾芯是適用于氧化物CMP、鎢CMP及銅CMP中塊狀顆粒以及膠體的過濾。采用分級(jí)處理、*的漸變孔徑深層過濾技術(shù)，實(shí)現(xiàn)分級(jí)過濾，使濾芯具有高納污空間。

詳細(xì)介紹

CMPA系列濾芯是適用于氧化物CMP、鎢CMP及銅CMP中塊狀顆粒以及膠體的過濾。采用分級(jí)處理、*的漸變孔徑深層過濾技術(shù)，實(shí)現(xiàn)分級(jí)過濾，使濾芯具有高納污空間，大大延長(zhǎng)了濾芯的使用壽命。

產(chǎn)品特性

梯度過濾
濾膜孔徑由外到內(nèi)逐漸減小，截留大顆粒，放行有效顆粒。增大了有效過濾面積，提高了納污量，從而延長(zhǎng)了濾芯使用壽命

低析出

濾芯采用純PP材料，生產(chǎn)過程不使用膠粘劑和表面活性劑，有效控制了過濾過程中的析出問題。純PP結(jié)構(gòu)保證了廣泛的化學(xué)相容性，適合多種液體過濾

可選多種精度、接口

可選0.5-90μm的多種過濾精度，滿足不同拋光液的工藝要求。長(zhǎng)度、接口類型亦有多種規(guī)格提供選擇，可以配合不同類型的過濾器進(jìn)行使用

應(yīng)用領(lǐng)域

拋光液的過濾

材料結(jié)構(gòu)

濾材：PP

外殼/中心桿/端蓋：PP

濾芯性能

工作溫度：80℃

工作壓差：4bar@21℃

2.4bar@80℃



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