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旋風(fēng)等離子清洗機(jī) 清洗/消毒設(shè)備

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韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

旋風(fēng)等離子清洗機(jī)
PIE 代表 Plasma ，Ion ，Electron
PIE 專業(yè)致力于等離子刻蝕，清洗，表面處理和離子，電子束產(chǎn)品的應(yīng)用。
PIE INC 成立于等離子研究小組在勞倫斯伯克利國(guó)家實(shí)驗(yàn)室。經(jīng)過(guò)15年在硅谷研究經(jīng)驗(yàn)，我們的SmartClean™ *的技術(shù)已經(jīng)被世界上*大學(xué)，研究所，實(shí)驗(yàn)室使用。

詳細(xì)介紹

Tergeo plasma cleaners 旋風(fēng)等離子清洗機(jī)

特征:

清洗方式：沉浸式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性；遠(yuǎn)程等離子體可以輕微的清除表面污染，如SEM、TEM樣品清洗；脈沖放電后產(chǎn)生等離子體的平均功率小于0.5watt，可以處理極精致樣品。
操作方法：自動(dòng)配方執(zhí)行；自動(dòng)作業(yè)順序執(zhí)行；亦可手動(dòng)操作。
等離子傳感器：雙等離子強(qiáng)度傳感器監(jiān)測(cè)現(xiàn)場(chǎng)等離子源和遠(yuǎn)程等離子源。等離子強(qiáng)度實(shí)時(shí)顯示在LCD觸摸屏上。
*工藝控制能力：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計(jì)、雙等離子強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配。
腔體材料：鋁法蘭，石英腔體
石英腔體尺寸：內(nèi)徑：110mm；外徑120mm；深度280mm
樣品架：2mm厚高純度石英板
射頻天線：外部射頻電極和天線設(shè)計(jì)減少了內(nèi)部金屬電極在等離子清洗機(jī)中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問(wèn)題。
射頻功率：13.56mhz高頻射頻電源，自動(dòng)原位等離子體源的阻抗匹配。射頻功率有兩種選擇：0-75watt和0-150watt。13.56MHz的射頻電源產(chǎn)生比兆聲電源產(chǎn)生高濃度等離子體。
工藝氣路：高達(dá)三個(gè)質(zhì)量流量控制氣體輸入（0 ~ 100sccm）。一個(gè)額外的排氣口。?英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。
用戶界面：7寸電阻式觸摸屏，觸摸的手指，沒(méi)有手寫筆的要求。
軟件：總共20個(gè)可定制的配方。每個(gè)工藝多達(dá)三個(gè)清理步驟。