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ELIONIX電子束光刻系統(tǒng)ELS-HAYATE

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天津瑞利光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹ELS-HAYATE能夠在數(shù)小時(shí)內(nèi)制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

ELS-HAYATE能夠在數(shù)小時(shí)內(nèi)制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具。ELS-HAYATE非常適合需要高吞吐量和超細(xì)圖案分辨率的大型制造寫入場(chǎng)。

性能特點(diǎn)

可實(shí)現(xiàn)字段大小5mm的統(tǒng)一繪制
實(shí)現(xiàn)了業(yè)界的5毫米偏轉(zhuǎn)。因?yàn)榭梢越y(tǒng)一繪制的區(qū)域變大，因此它非常適合在意字段間連接誤差的應(yīng)用程序。此外，由于樣品表面內(nèi)的載物臺(tái)移動(dòng)次數(shù)也減少，高吞吐量的微細(xì)加工也能起到作用。
采用大電流電子光學(xué)系統(tǒng)
配備高電流電子光學(xué)系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)超出電子束光刻常識(shí)的高通量微制造。以前通過激光光刻或光刻產(chǎn)生的微米到毫米量級(jí)的圖案，現(xiàn)在可以高質(zhì)量曝光。
400MHz生產(chǎn)用高速掃描時(shí)鐘
當(dāng)在高電流下進(jìn)行光刻時(shí)，須將光斑間距設(shè)置得較寬，以平衡小劑量時(shí)間和良好劑量。

技術(shù)參數(shù)