VSH系列超高真空真空計(jì)1000到5e-10 mbar的特點(diǎn)是典型應(yīng)用：
·分析儀器
·涂料廠和氣相沉積
·濺射廠
·測(cè)量和控制超高真空
·真空爐
·過程控制
·空間模擬
優(yōu)點(diǎn)：
·傳感器測(cè)量范圍廣Pirani/Bayard Alpert
·Pirani自動(dòng)控制熱陰極傳感器
·Pirani傳感器可以保證熱陰極在低壓時(shí)的正常操作，延長使用壽命
·高精度和良好的重復(fù)性
·真空過程中熱和電的干擾小
·測(cè)量單元體積小，例如VSH88D是20CM3
·Bayard-Alpert防風(fēng)、涂釔雙纖
·空氣入侵不影響測(cè)量
·LED顯示儀器狀態(tài)和開關(guān)點(diǎn)
·傳感器可更換
·Pirani和熱陰級(jí)傳感器的不同氣體的校正因子可以校準(zhǔn)壓力讀數(shù)
·可以連接Thyracont公司生產(chǎn)的2通道或4通道的顯示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模擬輸出信號(hào)1.219-8.6V或EtherCAT
·通過按鍵或接口調(diào)整零點(diǎn)和大氣壓
·LCD顯示（VSH88DL、VSH89DL）
·如果出現(xiàn)錯(cuò)誤，屏幕閃爍紅色，正常工作狀態(tài)是綠色(VSH88DL，VSH89DL）
·和PLC連接方便
·數(shù)據(jù)可以遠(yuǎn)程傳輸（遠(yuǎn)距離500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金屬外殼，結(jié)實(shí)耐用
·通過不銹鋼小法蘭DN 40 ISO-KF或conflat法蘭DN 40 CF-F真空連接，請(qǐng)選購VSH系列超高真空真空計(jì)1000到5e-10 mbar