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VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)

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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)是一種滿足半導(dǎo)體TSV、MEMS、WLP等工藝制程中異形表面的噴膠作業(yè)設(shè)備。是一種采用高精度微量液體平流傳輸和超聲波霧化震蕩技術(shù)均勻噴涂在一定溫度的物件表面，多次沉積成均勻涂層膜的納米噴膠設(shè)備。VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)采用不銹鋼機(jī)身，桌面臺式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，七寸全彩觸屏界面，高精密電缸控制，整體設(shè)計(jì)布局合理，簡單易用。

產(chǎn)品名稱	VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)
主要特點(diǎn)	1、可臺面式操作，外形尺寸緊湊 2、超聲波霧化或二流體霧化噴嘴可選 3、底盤旋轉(zhuǎn)加熱，XY電缸移動(dòng)式噴膠 4、可處理大基片尺寸為8寸晶圓，向下兼容
技術(shù)參數(shù)	1、熱盤溫控范圍：室溫—150℃，溫度分辨率：0.1℃ 2、溫度均勻性：小于±1％（工作范圍內(nèi)） 3、膠體流速范圍：1-20ml/min 4、電缸移動(dòng)速度：1-200㎜/s 5、電缸定位精度：±0.02㎜ 6、電缸有效行程：300×300㎜ 7、超聲波霧化粒徑：小于50μm
產(chǎn)品規(guī)格	外形尺寸：928（W）×800（D）×510（H）㎜