詳細(xì)介紹
掃描電子顯微鏡JSM-6701F是一臺(tái)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM),采用冷陰極場(chǎng)發(fā)射槍、高真空和精密的數(shù)字技術(shù),可進(jìn)行顯微結(jié)構(gòu)的高分辨率、高質(zhì)量成像。本系統(tǒng)裝配錐形場(chǎng)發(fā)射槍和semi-in-lens物鏡,可以在任何掃描速度下進(jìn)行高分辨率的成像以及高質(zhì)量的實(shí)時(shí)圖像顯示,使您即使在明亮的房間里也可觀察和記錄清晰的圖像。JSM-6701F可以處理直徑為8英寸的樣品。
掃描電子顯微鏡JSM-6701F是高級(jí)智能計(jì)算機(jī)掃描電子顯微鏡,保證了與未來(lái)計(jì)算機(jī)技術(shù)的兼容性。它無(wú)二的圖形用戶界面可以控制條件設(shè)置、樣品臺(tái)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、成像和數(shù)據(jù)存檔,確保操作穩(wěn)定可靠。系統(tǒng)的主計(jì)算機(jī)采用了高級(jí)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的Window® 2000,方便于從成像到數(shù)據(jù)處理的整個(gè)過(guò)程,使操作人員可以顯示實(shí)時(shí)圖像、通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將數(shù)據(jù)保存到外接電腦、檢索和管理數(shù)據(jù)。
掃描電子顯微鏡JSM-6701F主要特點(diǎn)
1.冷場(chǎng)發(fā)射電子槍:10-8Pa order pressure in Gun
2.氣鎖式樣品交換、全對(duì)中大樣品臺(tái)
3.全自動(dòng)聚焦、消像散、合軸、控制掃描速度
4.樣品臺(tái)標(biāo)配三軸馬達(dá)卻動(dòng),可選四、五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
5.半漏磁
掃描電子顯微鏡JSM-6701F技術(shù)參數(shù)
1.分辨率:1.0nm(15kV)/2.2nm(1kV)
2.加速電壓:0.5KV-30kV
3.放大倍數(shù):25-650K
4.樣品室尺寸:200mm直徑樣品
5.束流強(qiáng)度:10-13到2X10-9