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四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

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產(chǎn)品型號(hào)GC-9560-PDD

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更新時(shí)間：2022-07-07 15:26:04瀏覽次數(shù)：320次

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上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

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聯(lián)系人：秦小姐（市場(chǎng)部助理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述

四氯硅烷分析氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市*成果轉(zhuǎn)化*項(xiàng)目。

硅(SiHCl₃)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		400	25
二氯硅烷(SiH₂Cl₂)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		400	25
甲基二氯硅烷(SiCl₂CH₄)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		200	50
金屬元素及其他元素含量	（硼+鋁）（B+Al）含量/（µg/kg） ≤	——	0.1
	（磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg） ≤	——	0.3
	鎵（Ga）含量/（µg/kg） ≤	——	0.5
	銻（Sb）含量/（µg/kg） ≤	——	0.5
	銦（In）含量/（µg/kg） ≤	——	0.5
	鈣（Ca）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鉻（Cr）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鐵（Fe）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鉀（K）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鈉（Na）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鎳（Ni）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鉬（Mo）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	錳（Mn）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	銅（Cu）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鎘（Cd）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鈷（Co）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	鋅（Zn）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5
	釩（V）含量/（µg/kg） ≤	1	0.5