PLASCALC-2000等離子監(jiān)控系統(tǒng)配有2048像元CCD高分辨率的光譜儀，等離子體光輻射測量范圍為200-1100nm，PlasCalc-2000進程控制系統(tǒng)精確可靠，其精密的數(shù)據(jù)采集和控制算法格外具有優(yōu)勢，對PC的模擬和數(shù)字輸入輸出功能也簡化了進程控制過程。PlasCalc-2000及其軟件系統(tǒng)在數(shù)據(jù)采集和信號處理上非常方便，波長、測量模式編輯器可以迅速產(chǎn)生有效的測量模式及各種測量模式的組合，適合于控制系統(tǒng)。

PLASCALC-2000等離子監(jiān)控系統(tǒng)參數(shù)

200-1100nm光譜的范圍

1.0nm全高半寬分辨率
14位I/O D/A轉(zhuǎn)換
8個TTL數(shù)字I/O端口
4個0-10V模擬輸出端口
USB1.1接口

參數(shù)

多達6通道的寬帶光譜數(shù)據(jù)采集
每個通道都可以獨立配置光譜范圍
小于0.3nm的光學分辨率
16個TTL數(shù)字I/O端口
8個1-10V模擬輸出端口
USB2.0接口

應用

通用過程監(jiān)控
表面清潔過程
保護膜
等離子體刻蝕
等離子室設(shè)備健康水平監(jiān)控
非常規(guī)過程處理
多晶硅平整化處理
新的加工過程優(yōu)化和監(jiān)控

本公司是一家專業(yè)從事光譜儀和光通訊產(chǎn)品的研究、開發(fā)和貿(mào)易的*。主要產(chǎn)品有單光子計數(shù)器，量子級聯(lián)激光器，皮秒激光器，微型光纖光譜儀，拉曼光譜儀，元素分析儀,鍍膜產(chǎn)品以及光通訊方面WSS光開關(guān)、特種光纖等。同時擁有一支從事光學儀器貿(mào)易多年的有豐富工作經(jīng)驗的團隊，產(chǎn)品廣泛用于通訊、傳感、激光、化工、石油、醫(yī)療等領(lǐng)域。

我公司代理產(chǎn)品，至今已和國內(nèi)外眾多的產(chǎn)品制造、生產(chǎn)商建立了*良好的關(guān)系。經(jīng)過一段時間的發(fā)展，公司的銷售額逐漸增長，并逐漸完善了公司的一套管理體系。目前公司擁有一支非常穩(wěn)健的專業(yè)技術(shù)隊伍，具備雄厚的技術(shù)和豐富的現(xiàn)場經(jīng)驗，公司堅持“潛心做事，用心做人”的工作和服務理念，完善的售后服務體系，時刻把滿意客戶放在*。