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IBEX-300晶圓級超快三維磁場探針臺(tái)

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更新時(shí)間：2020-04-02 14:54:01瀏覽次數(shù)：584次

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QUANTUM量子科學(xué)儀器貿(mào)易（北京）有限公司

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產(chǎn)品簡介

加工定制	否

IBEX-300晶圓級超快三維磁場探針臺(tái)是專門用于晶圓片在磁場作用下的表征和測試的儀器

詳細(xì)介紹

IBEX-300晶圓級超快三維磁場探針臺(tái)是專門用于晶圓片在磁場作用下的表征和測試的儀器，它使用三維磁場發(fā)生器和*的可定制硬件，為磁性器件（傳感器和存儲(chǔ)器）的開發(fā)、工藝和生產(chǎn)帶來了完整的測試解決方案。

IBEX-300晶圓級超快三維磁場探針臺(tái)主要特點(diǎn)：

■ 可以用于100~300mm晶圓
■ 提供大的面內(nèi)和垂直磁場
■ 磁場定向和旋轉(zhuǎn)的三維控制
■ 快速掃描能力

■ 嵌入式傳感器校準(zhǔn)
■ 自動(dòng)測試程序
■ MRAM和傳感器參數(shù)提取軟件
■ 與標(biāo)準(zhǔn)探針卡兼容

主要應(yīng)用方向：
■ 磁性隧道結(jié)

■ 磁隨機(jī)存取存儲(chǔ)器

■ 集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)

■ 智能傳感器

技術(shù)原理：

探針臺(tái)采用*的三維磁場發(fā)生器，每個(gè)磁場空間軸獨(dú)立驅(qū)動(dòng)。利用這3個(gè)自由度，用戶可以在任意空間方向應(yīng)用和控制場，也可以生成旋轉(zhuǎn)場。三維磁場裝置配備了所有相關(guān)配件，測試程序和磁鐵校準(zhǔn)工具包。

三維磁發(fā)生器置于探針臺(tái)頂部，并在晶圓上產(chǎn)生局部磁場。為了適應(yīng)器件測試設(shè)計(jì)，探頭被放置在晶圓片和發(fā)生器之間的間隙中。磁場發(fā)生器和晶圓托之間的Z方向距離一般可在500μm至5mm之間可調(diào)，取決于所使用的探針卡和探針。

關(guān)鍵詞：傳感器