Pluto-30 等離子清洗機

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更新時間：2020-07-23 00:18:31瀏覽次數：634次

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武漢賽斯特精密儀器有限公司

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產品簡介

Pluto-30 等離子清洗機
產品簡介：
Pluto30是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網絡電源在整個過程區(qū)域產生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達7個可調節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍，提供給用戶的靈活性。

詳細介紹

Pluto-30 等離子清洗機

產品簡介：

Pluto30是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網絡電源在整個過程區(qū)域產生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達7個可調節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍，提供給用戶的靈活性。

產品特點：

專業(yè)氣體輸送系統(tǒng)，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

不同工藝模式（RIE、下游等離子體等）的柔性電極配置

*的射頻系統(tǒng)提供超卓的工藝重復性和處理效率

全自動處理能力

圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅動流程并提供實時流程信息

臺式設計需要較小的占地面積