適用范圍
稀釋氣入口數 | 1 | 線 性 | 1%F.S |
標氣入口數 | 3(可擴展) | 輸入氣體壓力 | (100~200)kpa |
稀釋氣質量流量控制器 | (0~10)L/min(可擴展) | 響應時間(T95) | ≤60S |
標氣質量流量控制器1 | (0~10)L/min(可擴展) | 稀釋率(標準) | 300:1(可擴展) |
標氣質量流量控制器2 | (0~10)L/min(可擴展) | 輸出通道 | 2 |
流量準確度 | ±1.0%F.S | 工作環(huán)境溫度 | (0-40)℃ |
流量重復度 | 0.5%F.S | 重量:7kg 尺寸:(330*240*300)mm |