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等離子清洗機(jī)是一種非破壞性的表面處理設(shè)備，又稱等離子處理機(jī)，是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，在一定真空負(fù)壓的狀態(tài)下，以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性*的氣體等離子體，氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的改變，從而達(dá)到對樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗，在極短時間內(nèi)有機(jī)污染物就被外接真空泵*抽走，其清洗能力可以達(dá)到分子級。

等離子清洗機(jī)通過等離子體對材料表面的轟擊，輕柔地和*地對表面擦洗從而對樣品表面進(jìn)行改性（親水性），同時除掉表面有機(jī)物，使多種材料之間能夠進(jìn)行貼合、涂覆、鍍膜等工藝操作。從研究開發(fā)到工藝生產(chǎn)使用，從表面微細(xì)加工到表面處理改質(zhì)效果都非常好，應(yīng)用廣泛。

◆ 等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域：

金屬---去除金屬表面的油脂,油污等有機(jī)物及氧化層

金屬表面常常會有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到*潔凈和無氧化層的表面。等離子清洗將除去不可見的油膜、微小的銹跡和其它由于用戶接觸室外暴露等等在表面形成的這類污物，而且，等離子清洗不會在表面留下殘余物。

等離子清洗機(jī)的較佳優(yōu)點(diǎn)在于它不但能清洗掉表面的污物，而且還能增強(qiáng)材料表面的粘附性能。

等離子清洗機(jī)在光電子領(lǐng)域的應(yīng)用：等離子刻蝕，等離子沉積，原子層沉積廣泛用于光電器件制造，包括VCSEL，激光二極管，微透鏡，波導(dǎo)和單片微波集成電路（MMIC）

汽車制造---用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理

紡織品生產(chǎn)---用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理

生物醫(yī)療---培養(yǎng)皿提高活性，血管支架，注射器，導(dǎo)管和各種材料的親潤，交合涂覆前處理。

航天---絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理

電子---線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進(jìn)可焊性

半導(dǎo)體行業(yè)---晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預(yù)處理

LED---支架清洗封裝前預(yù)處理

塑料橡膠---提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。

◆ 灰化表面有機(jī)層

-表面會受到物理擊和化學(xué)處理

等離子清洗機(jī)的原理：用空氣或氧氣等離子體中進(jìn)行活化，塑料聚合物的非極性氫鍵被氧鍵替代，為表面提供自由價電子與液體分子結(jié)合，從而提高“非粘合性”塑料具有很好的粘合性和可噴涂性。在真空等離子體中，除了空氣和氧氣之外還可以使用其他氣體，這些氣體能夠在氧氣的位置吸附氮?dú)?、胺類或者羰基作為反?yīng)性基團(tuán)。

◆ 等離子清洗機(jī)廣泛用于：1．等離子表面活化/清洗； 2.等離子處理后粘合； 3. 等離子蝕刻/活化； 4. 等離子去膠； 5. 等離子涂鍍(親水,疏水)； 6. 增強(qiáng)邦定性； 7.等離子涂覆； 8.等離子灰化和表面改性等場合。通過其處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂。

等離子清洗機(jī)，英文叫（Plasma Cleaner）又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面清洗機(jī)、等離子體清洗機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合。通過其等離子表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂。

等離子清洗機(jī)，是干法清洗中**常見的一種形式，在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質(zhì)，所以能有效避免樣品的再次污染。等離子清洗機(jī)現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。