等離子清洗機(jī)作為一種的干式清洗技術(shù)，具有綠色環(huán)保等特點，等離子清洗機(jī)用于在晶圓凸點工藝前去除污染，還可以去除有機(jī)污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化。

等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂.

等離子表面清洗機(jī)能夠去除晶圓表面光刻膠和其余有機(jī)物，也可以通過等離子清洗機(jī)的活化和粗化作用，對晶圓表面進(jìn)行處理，能有效提高其表面浸潤性。等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝上的應(yīng)用具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。

等離子清洗機(jī)常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。等離子清洗機(jī)在去膠工藝中具有操作方便、效率高、表面干凈、無劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點,而且它不用酸、堿及有機(jī)溶劑等,因此越來越受到人們重視。