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電學(xué)特性

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更新時間：2021-11-05 17:17:36瀏覽次數(shù)：101次

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鉑悅儀器（上海）有限公司

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電學(xué)特性

FEOL Electrical Characterization
In IC device manufacturing electrical characteristics of layers and films must be well controlled. Conventional contact test methods on monitor wafers, like the 4-point probe FSM offers, do no longer meet modern requirements. State of the art IC feature extremely thin, often only a few atomic layers of material. FSM's contactless RsL probe for sheet resistance and leakage as well as the non-destructive EOT probe for IC-CV measurements meet the challenge to characterize ultra shallow junctions and thin dielectric materials on production wafers.

FSM offers contact and non-contact electrical characterization metrology used in FEOL device making.