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濺射模塊

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產(chǎn)品型號SP-010

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廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

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聯(lián)系方式：廖女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2021-11-05 17:56:05瀏覽次數(shù)：174次

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鉑悅儀器（上海）有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：118條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：廖女士（市場部）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述：采用統(tǒng)一的電氣和氣體接口，與CCU-010 HV和CCU-010 LV主體機配套使用。

詳細介紹

盡管用于CCU-010 LV和CCU-010 HV緊湊式鍍膜機的SP-010濺射頭的形狀小巧，它仍然具備在真空中進行高質(zhì)量濺射鍍膜所需的特性。
此模塊把磁控管、靶材、擋板、工藝壓力調(diào)節(jié)器和電源器件*整合到一個裝置中，裝置準備就緒，隨時可以運行，并且便于維護。
通過接口供電、供氣和傳送信號，只需一項手動操作，就可以把系統(tǒng)設(shè)置成濺射裝置。

亮點：
· 以電子方式控制工藝真空度，容器內(nèi)壓力穩(wěn)定。
· 設(shè)有環(huán)形氣孔，工作氣體分布均勻。
· 對碎片進行探測和監(jiān)控，操作。
· 具備靶材冷卻功能，帶有溫度監(jiān)測，運行順暢。
· 采用統(tǒng)一的電氣和氣體接口，與CCU-010 HV和CCU-010 LV主體機配套使用。