真空泵真空專家： 帶有預(yù)進氣冷卻裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機

為了實現(xiàn)預(yù)進氣冷卻，殼體在進氣側(cè)增加了一個插口（原有兩個，現(xiàn)為三個）。 滑油供應(yīng)由濺油潤滑實現(xiàn)。 輸送室由密封裝置真空密封。 驅(qū)動軸由帶有油欄的兩個徑向密封環(huán)密封。 流動方向為縱向，自上而下。 驅(qū)動可以通過直接耦合也可以通過窄 V 型皮帶來實現(xiàn)（在限制壓力差之下）。

應(yīng)用 AERZEN mHV 系列真空泵的特殊優(yōu)勢：

• 規(guī)模大的鼓風(fēng)機系列，有 11 種結(jié)構(gòu)尺寸可選

• 在適用范圍內(nèi)，粗略真空可作為多級泵座的中間級，或者作為相對于大氣壓力的負(fù)壓級亦適用

• 壓力差高可達 800 mbar

• 適用于較高的壓縮比和 p1/p2 = 5 以內(nèi)的粗略真空范圍

• 適于持續(xù)運行且不會造成過熱問題

• 明顯降低壓縮排氣溫度

• 無需其他必要的閥門、控制器等

適用于所有應(yīng)用的*型天才。

帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機經(jīng)過專門設(shè)計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，于工業(yè)高真空技術(shù)。 密閉式電機鼓風(fēng)機始終結(jié)合前級泵使用*。 
此前級泵在大氣壓力條件下開始運行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機鼓風(fēng)機，然后泵送流程啟動。 根據(jù)應(yīng)用的不同，可以使用液環(huán)泵、滑片式、螺桿或鼓風(fēng)機作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用參數(shù)集時，前級泵也可以在大氣壓力條件下運行。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體行業(yè)

• 微電子工業(yè)

• 平面屏幕制造

• 激光技術(shù)

• 太陽能技術(shù)

• 氦檢漏裝置

• 化學(xué)工藝技術(shù)

• 箔紙和玻璃噴漆

• 熔爐制造

• 氫的提取

*使用帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 真空鼓風(fēng)機時，必須配備額外的前級泵（多級系統(tǒng)）。