Blue M 氮?dú)夂嫦?206/256/296（臺(tái)式）136/336/1046（立式）適用對(duì)象有半導(dǎo)體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機(jī)電產(chǎn)品等作無(wú)氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。封裝測(cè)試；所有的LeadPKG、BGA、MCM；光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅(jiān)膜；銀漿固化、模后固化、電鍍退火；基板除潮、晶圓干燥退火等。

詳細(xì)介紹

Blue M 氮?dú)夂嫦?206/256/296（臺(tái)式）136/336/1046（立式）

無(wú)氧化烘箱適用對(duì)象有半導(dǎo)體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機(jī)電產(chǎn)品等作無(wú)氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。封裝測(cè)試；所有的LeadPKG、BGA、MCM；光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅(jiān)膜；銀漿固化、模后固化、電鍍退火；基板除潮、晶圓干燥退火等。

Blue M 氮?dú)夂嫦?206/256/296（臺(tái)式）136/336/1046（立式）設(shè)備特點(diǎn)：

1) 面板為重型鋼材（至少16G）；

2) 內(nèi)膽為304不銹鋼滿焊密封結(jié)構(gòu)，防止氣體進(jìn)入絕緣層；

3) 全焊接密封結(jié)構(gòu)，保證微量元素和氧氣含量，并消除氣體的遷移；

4) 表面噴塑處理保證了設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間的抗腐蝕能力；

5) 4英寸礦物棉絕緣層限度的減少熱量散失；

6) Blue M玻璃纖維大門密封圈設(shè)計(jì)能有效的密封大門；

7) 所有非和惰性氣體恰當(dāng)?shù)男纬桑?/span> 提供了全處理工程中的靈活性

8) 標(biāo)準(zhǔn)的安全門開關(guān)保持凈化的完整性。

主要技術(shù)參數(shù)

1) 溫度范圍：室溫+15℃～350℃

2) 均勻度：±1%

3) 控制精度：±0.5℃

4) 分辨率：±0.1℃

5) 性能數(shù)據(jù)（典型數(shù)據(jù)）：60分鐘以內(nèi)達(dá)到300℃

規(guī)格參數(shù)：

Model

型號(hào)

206

(臺(tái)式)

256

(臺(tái)式)

296

（臺(tái)式)

136

（立式）

336

（立式）

1046

（立式）

內(nèi)部容積

4.2cu.ft

5.8cu.ft

9u.ft

11.0cu.ft

24.0cu.ft

內(nèi)部尺寸寬*深*高（英寸）

20*18*20

25*20*20

25*25*25

38*20*25

25*20*38

48*24*36

外部尺寸寬*深*高（英寸）

40*34*57

45*36*57

45*36*66

58*36*71

45*36*84

68*40*82

設(shè)備占地面積

9.4 sq.ft

11.0 sq.ft

15.0 sq.ft

11.0 sq.ft

19.0 sq.ft

電氣配置

208VAC單相50/60Hz 線路電流（每相）

3.0 Kw

4.5 Kw

6.0 kw

6.0 Kw

6.8 Kw

240VAC 單相50/60Hz 線路電流（每相）

4.0Kw

6.0Kw

8.0 kw

8.0Kw

9.0Kw

208VAC三相50/60Hz 線路電流（每相）

6.8Kw

9.0Kw

13.5 kw

13.5Kw

18.0Kw

240VAC三相50/60Hz 線路電流（每相）

9.0Kw

12.0Kw

18.0 kw

18.0Kw

24.0Kw

480VAC三相50/60Hz 線路電流（每相）

9.0Kw

12.0Kw

18.0 kw

18.0Kw

24.0Kw

推薦氣體流量
Model 型號(hào)	Purge(SCFH) 吹洗（標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/小時(shí)）	Run(SCFH) 運(yùn)行（標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/小時(shí)）	Cool (SCFH) 冷卻（標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/小時(shí)）
206	120 SCFH for 27 minutes	25	25
256	200 SCFH for 18 minutes	30	30
136	200 SCFH for 30 minutes	60	60
336	200 SCFH for 30 minutes	60	60
1406	600 SCFH for 24 minutes	120	120